SF6气体微量水分（微量湿度）的分析需要用到露点仪。仪器不同测试方法也不同。
比如利用阻容法检测。它又称之为电阻法，根据样品中水分与电阻值和电容值的定量关系，将电阻值或电容值转换成可测电量，通过对电量的测量得出被测样品中的水分值。
冷镜法的测试通过测定在单位时间内离开和返回镜面的水分子数达到动态平衡时的镜面温度来确定气体的露点。一定的气体湿度对应一个露点温度；一个露点温度对应一定的气体湿度。因此测定气体的露点温度就可以测定气体的湿度。由露点可以得到绝对湿度，由露点和所测气体的温度可以得到气体的相对湿度。
两种测量方法都对是不同的测量仪器。阻容法用的是阻容法SF6气体露点仪，采用阻容测量原理 （芬兰维萨拉DMT系列传感器）通过测量电抗的变化，可以得知被测气体中湿度的大小。电力系统常用的阻容式湿度计一般检测范围为一60-O℃（露点），该类传感器响应速度快，特别适合现场的连续在线检测。
冷镜法的露点仪采用自动冷镜测量 （斯特林制冷原理）的测量方法，可以在环境温度高达60℃的各种环境下，以露点±0.2℃的测量精度进行SF6气体的微量水分检测。通过光学系统，测温电路，逻辑控制电路、数字显示电路等，测量露点温度Td，并显示出来。
通过测试方法可以去选择相应的露点仪，不管哪一款露点仪首先是要看准仪器的精度，精度达标测试数据才能标准。
